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真空炉 vacuum furnace
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真空炉

真空炉

主要用途及客户:

用于氮化铝陶瓷基板烧制、高温材料的氢气还原等热处理。

代表客户——中国电子科技集团公司第十三研究所

 

技术参数

 

型式

卧式高温、真空/气氛电阻炉

总电源

AC 380V±10%,三相四线制,50Hz ±lHz

电力总消耗功率

450KW 根据最终设计确定,在审图时确定)

加热器总功率

400KW 根据最终设计确定,在审图时确定)

炉内有效工作区

炉内有效工作区: 406X406X813mm(16X16X32英寸)

加热元件

钨网

额定最高温度

2050℃(允许在60分钟内)

最高工作溫度

≤1900℃

温度均匀性

±5空炉1700保温后1小时)

温度控制

智能温度控制,闭环PID可编程曲线自动控温

温度检测

七只C型铠装带有高温凃层的热电偶(六只控温,一只过温控制)

温度控制区

六区控制

程序控制

霍尼韦尔HC900混合可编程控制器

操作方式

计算机自动控制/现场手动操作

升温速度

5〜40 /min

极限真空度

2.0E (-2) Torr(炉、清洁、室温、充分脱气)

工作真空度

7. 0E (-2) Torr

空炉抽空时间

至工作真空度20min(炉体干燥、洁净)

升压率

0. 67Pa/h (连续抽真空l2h后测试)

压力控制

正压0. 02MPa

工艺气体及流量控制

高纯Ar、N2、H2或其混合气体,淹量0. 5-50L/min

炉体冷却方式

断电后随炉自然冷却